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&esp;&esp;换句话说,光刻机所需的反射镜精度必须打磨到万亿分之一米。
&esp;&esp;盛明安:“用硅和钼反复镀膜,直到光线利用率达到国际标准。”
&esp;&esp;当下有?人反驳:“都是?纳米级镀膜,反复镀膜也会影响精度,工艺太难了?!”
&esp;&esp;难度多大?
&esp;&esp;最浅显易懂的比喻便是?将一面直径不?超过四十厘米的反射镜放大至覆盖地面,其平面起伏不?能超过一根头发的直径。
&esp;&esp;而光刻机所需的反射镜多达四五十层,平面精度一层比一层要求更平整。
&esp;&esp;全球只有?德国蔡司这家传承三?代?以上的企业才造得出这种反射镜。
&esp;&esp;当然,反射镜不?对华出口。
&esp;&esp;盛明安:“不?用担忧反射镜能不?能被打磨出来,你们只需要尽己所能考虑反射镜在光的收集和转化率这一单元里,能够被如何利用到极致。”
&esp;&esp;“数据、模型,不?管失败成功,统统记录下来。”
&esp;&esp;盛明安语速打机关枪似的,斩钉截铁、不?容置喙,仿佛难度高到爆表的光源系统在他眼里层次分明、井然有?序,所有?的技术难点都可以被轻松解决。
&esp;&esp;他胸有?成竹,心有?沟壑。
&esp;&esp;他不?必开口安慰,只要用平淡轻松的口气下达每一道指令就能安定实验室每个?人退怯、不?自信的心。
&esp;&esp;“杜颂,打开你的odelica先进?行?初步的超精密激光器建模仿真。”
&esp;&esp;odelica是?一款可实现复杂的物理系统仿真建模的计算机语言软件,可用于光刻机某些超精密部件的仿真建模。
&esp;&esp;杜颂:“已在创建。”
&esp;&esp;他领着自己小组成员低头忙碌。
&esp;&esp;“雷客,你调整一下光路结构。”
&esp;&esp;“好。”雷客示意助手打开opc(光学邻近矫正)软件,通过模型动态仿真结果?计算查找表修正光与图案。
&esp;&esp;盛明安匍匐在桌案,设计市场需求的激光光源,就目前的技术发展而言,光刻机激光光源仍以激光等离子体为主。
&esp;&esp;驱动光源产生的碎屑数量,光谱纯度,每提高一个?技术节点消耗的功率和产能……其实日前最先进?的euv,其功率消耗大、产能低,再过五六年也未能完美解决这两个?问题。
&esp;&esp;可盛明安不?清楚。
&esp;&esp;他虽不?愿用前世记忆盗窃他人成果?提前制造出国产光刻机,可前世是?他完美解决euv产能低的问题,因?此习惯性顺手将这难题归入待解决列表之一。
&esp;&esp;以至于后来一举攻破该技术节点实现反超asl目标,实属意料之外。
&esp;&esp;
&esp;&esp;15年5月份左右,国际半导体发生了?一件大事。
&esp;&esp;asl官网对外发布突破光刻机量产瓶颈,正式对外售出可量产14n极紫外光刻机!
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