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“没想到,新设备第一次光刻测试就成功了,姜教授他们这些人真是牛。”
“那是当然,光刻机研发实验室是咱们维创电子公司和ZK院半导体研究所、深镇大学,共同合作建立的,里面工作的研究员,学历最低的也是硕士研究生,能不厉害吗。”
“芯片生产线最核心的设备光刻机研发成功了,其他相关设备的研发难度就低多了,也许咱们维创电子公司有一天,可以生产整条芯片生产线上的所有设备。”
“没那么容易,整条芯片生产线上的设备太多了,咱们维创电子不可能分心生产这么多的东西。”
“第一次光刻测试,产品合格率就达到了68.7%,再做一些参数优化,将合格率提升到70%、80%,也不是不可能。
接下来,刘焱和姜安平等人去食堂吃了一餐迟来的午饭,然后返回无尘车间,对光刻机进行进一步的测试,包括极限加工精度测试,最高光刻速度测试,长时间压力测试等等。
此后半个月,又有两台维创电子自产的一微米光刻机加入测试,随着设备参数的不断修改优化,一些零配件的小修小改,生产的芯片合格率已经提升到了81%。作为一家刚刚成立不到半年的晶圆工厂,这个合格率已经相当高了。
11月中旬,维创电子公司和ZK院、深镇大学,合作研发的一微米光刻机正式定型量产。
为此,三家单位特意举行了一个表彰大会,还叫来了几名报刊杂志和电视台的记者,对此进行报道。在这次的表彰大会上,对光刻机研发小组全体成员进行了通报嘉奖,所有人都获得了维创电子公司提供的一万到十万不等的奖金。
在改开之初的八三年,RMB非常的坚挺,万元户在深镇也是凤毛麟角的存在。如今一大批搞光刻机研发的技术人员,轻轻松松成为万元户,甚至十万元户,造成的轰动效果可想而知。
消息见报不到一周,维创电子公司就接到了五台一微米光刻机订单,都是国内的几大电子研究所订购的,用于国产芯片的研发制造。
刘焱当初投资研发光刻机,本来就没想过依靠它盈利,量产型号的光刻机,对外售价只有2百万RMB。这个价格只有国外同类产品的三分之一左右,可谓是物美价廉。
可惜这年月,国内的晶圆工厂大多不成气候,后续订单就算有,也不会有太多。好在维创电子公司自己就有晶圆工厂,且盈利丰厚,只要自产光刻机能完美替代进口产品,且能跟随摩尔定律不断升级进化,花再多的研发资金也是值得。
表彰大会之后,刘焱召集全体光刻机研发室实验室成员,召开了一个研讨会,对下一步的研发计划和研发方向进行了部署。
刘焱代表维创电子公司率先发言,说道:
“一微米光刻机已经研发成功,并定型量产,在座的诸位功不可没。但这一切都已经是过去式,接下来,咱们要在一微米光刻机的基础上,再接再厉,研发0.5微米制程的光刻机。我代表维创电子公司表个态,不管研发过程中遭遇怎样的困难,需要投入几亿,十几亿,甚至几十亿的研发资金,我们维创电子也在所不惜。接下来,有请姜教授就下一代光刻机研发计划,做一下总体规划。”
姜安平拿出一份手写的稿子,清了清嗓子说道:
“当初刘老板提供的光刻机研发资料中,有一份0.5微米光刻机研发概要,点明了几个研发要点,包括光源,透镜系统,双工台,掩模台等等。
其中双工台、掩膜台、控制系统、晶圆传输系统,可以通过一微米光刻机的相关部件进行升级改造达成,难度不是太大。
但为了达到0.5微米的加工精度,光源系统和透镜系统需要重新设计,重新打造,这个难度不是一般的大。”
乌光辉跟着发言道:
“我是搞激光技术出身,在光刻机光源方面有一定研究。光刻分辨率想要达到0.5微米,光源波长需要达到365nm以下,且对光源强度和均匀度都有非常严格的要求。咱们在一微米光刻机上使用的高压汞灯,理论上其极限能达0.35微米的加工精度,但需要对其结构进行彻底的改造,且越是接近极限,越难以达成。
而被业界普遍认定是下一代光刻机光源的KrF(氟化氪)准分子激光,光源波长为248nm,可以使最小工艺节点提升至350-180nm水平。当今世界上,很多激光相关的研究所,都在对准分子激光进行研发,进度参差不齐,达到实用水平的,一个都没有。
我的建议是,在光刻机光源方面,两种线路同时研发,哪个率先取得突破,下一代0.5微米光刻机上,就使用哪一种光源。”
一位光学方面的专家发言道:
“光源波长越短,传播过程中越容易被透镜吸收。下一代0.5微米光刻机,如果依旧使用高压汞灯当光源,使用现在的透镜组合就足够了,顶多加工精度再提高一些。如果使用准分子激光做光源,透镜系统就需要推倒重做,组合里至少增加两枚玻璃透镜,参数也要重新设计,还有镀膜材质也要重新开发。这方面研究需要尽快提上日程,如果开发新透镜组合,需要的计算量非常的大,使用普通计算机计算,需要的时间会非常长,我建议咱们使用ARM1芯片,组装一台超级计算机出来。”
一位深镇大学教计算机的教授,推了推眼镜出声道:
“超级计算机确实是个好东西,咱们很多研发中的项目涉及到大量数据计算和模拟测试,如果咱们实验室有一台超级计算机,可以把研发速度提高很多。
维创电子公司晶圆工厂出产的ARM1芯片,是世界上第一款精简指令集芯片,以10万晶体管数量,提供了远超芯片的性能,在功耗上,也只有后者的三分之一左右,是制作超级计算机的最优芯片。
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