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刘焱当初投资研发光刻机,本来就没想过依靠它盈利,量产型号的光刻机,对外售价只有百万人民币。
这个价格只有国外同类产品的三分之一左右,可谓是物美价廉。
可惜这年月,内地的晶圆工厂大多不成气候,后续订单就算有,也不会有太多。
好在维创电子公司自己就有晶圆工厂,且盈利丰厚,只要自产光刻机能完美替代进口产品,且能跟随摩尔定律不断升级进化,花再多的研发资金也是值得。
表彰大会之后,刘焱召集全体光刻机研发室实验室成员,召开了一个研讨会,对下一步的研发计划和研发方向进行了部署。
在研讨会上,刘焱代表维创电子公司率先发言,说道:
“一微米光刻机已经研发成功,并定型量产,在座的诸位功不可没。
但这一切都已经是过去式,接下来,咱们要在一微米光刻机的基础上,再接再厉,研发0.5微米制程的光刻机。
我代表维创电子公司表个态,不管研发过程中遭遇怎样的困难,需要投入几亿,十几亿,甚至几十亿的研发资金,我们维创电子也在所不惜。
接下来,有请廉教授就下一代光刻机研发计划,做一下总体规划。”
廉安平教授拿出一份手写的稿子,清了清嗓子说道:
“当初刘老板提供的光刻机研发资料中,有一份0.5微米光刻机研发概要,点明了几个研发要点,包括光源,透镜系统,双工台,掩模台等等。
其中双工台、掩膜台、控制系统、晶圆传输系统,可以通过一微米光刻机的相关部件进行升级改造达成,难度不是太大。
但为了达到0.5微米的加工精度,光源系统和透镜系统需要重新设计,重新打造,这个难度不是一般的大。”
乌光辉跟着发言道:
“我是搞激光技术出身,在光刻机光源方面有一定研究。光刻分辨率想要达到0.5微米,光源波长需要达到365nm以下,且对光源强度和均匀度都有非常严格的要求。咱们在一微米光刻机上使用的高压汞灯,理论上其极限能达0.35微米的加工精度,但需要对其结构进行彻底的改造,且越是接近极限,越难以达成。
而被业界普遍认定是下一代光刻机光源的KrF(氟化氪)准分子激光,光源波长为248nm,可以使最小工艺节点提升至350-180nm水平。当今世界上,很多激光相关的研究所,都在对准分子激光进行研发,进度参差不齐,达到实用水平的,一个都没有。
我的建议是,在光刻机光源方面,两种线路同时研发,哪个率先取得突破,下一代0.5微米光刻机上,就使用哪一种光源。”
一位光学方面的专家发言道:
“光源波长越短,传播过程中越容易被透镜吸收。下一代0.5微米光刻机,如果依旧使用高压汞灯当光源,使用现在的透镜组合就足够了,顶多加工精度再提高一些。
如果使用准分子激光做光源,透镜系统就需要推倒重做,组合里至少增加两枚玻璃透镜,参数也要重新设计,还有镀膜材质也要重新开发。
这方面研究需要尽快提上日程,如果开发新透镜组合,需要的计算量非常的大,使用普通计算机计算,需要的时间会非常长,我建议咱们使用ARM1芯片,组装一台超级计算机出来。”
一位深镇大学教计算机的教授,推了推眼镜出声道:
“超级计算机确实是个好东西,咱们很多研发中的项目涉及到大量数据计算和模拟测试,如果咱们实验室有一台超级计算机,可以把研发速度提高很多。
维创电子公司晶圆工厂出产的ARM1芯片,是世界上第一款精简指令集芯片,以10万晶体管数量,提供了远超芯片的性能,在功耗上,也只有后者的三分之一左右,是制作超级计算机的最优芯片。
只是超算并不是单纯的堆叠芯片,还涉及到并行计算、指令分发、数据交互、大量数据存储、高效率散热等等技术,咱们这边根本没有相关人才,想要自己研发超级计算机难上加难。”
接下来,光刻机研发小组的成员,各抒己见,给下一代0.5微米光刻机的研发,提供了很多的好思路。
最后,刘焱做了总结发言,说道:
“大家说的很好,0.5微米光刻机的研发工作就拜托大家了。我们维创电子公司会先期投资10亿,作为研发资金,如果需要某些先进设备,或稀有原材料,打报告上来,我会想办法,从国外采购。
超级计算机的事情先不要着急,据我所知,GFKJ大学计算机研究所目前正在进行国内第一台巨型机的研发,咱们可以跟那边联系一下,将咱们的ARM1芯片提供过去,看看双方能不能达成合作。
另外芯片生产线上除了已经被咱们攻克的光刻机,还有刻蚀机,清洗机,离子注入机,单晶炉,晶圆划片机等等设备,这些都需要咱们去光产化。
这些设备只靠维创电子公司、深镇大学、和Z科院,三家的科研力量进行研发,还是力有未逮。咱们还需要联系一些国内相关的科研院所和工厂,进行合作研发。”
会议过后,刘焱通过中科院的关系,联系上了GFKJ大学计算机研究所,了解了一下即将研发完成的“YH1号”巨型计算机。
这才知道八十年代的超算和后世的超算,完全不是一种东西。
就拿“YH1号”来说,它仿制于米国的cray-1巨型计算机,使用的计算芯片并不是、ARM1这类大规模集成电路芯片,而是数十万颗普通集成电路芯片。具体构造也不是后世的大规模并行处理结构,而是老旧的向量机。
而且YH1号的计算能力只有每秒1亿次多一点,还不如后世的一枚普通手机芯片,性能着实有限。即使如此,刘焱还是花上千万港币,订购了一台YH1号巨型机,用于辅助光刻机研发。
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